日本分光学会では，顕微分光・テラヘルツ分光・赤外ラマン分光など9つの専門部会がそれぞれ独自の活動を行っています。本シンポジウムは，「レーザー学会」・「レーザー励起X線源とその応用の研究会」・「ペタワットレーザー駆動による単色量子ビームの科学の研究会（大阪大学レーザーエネルギー学研究センター及び(独)日本原子力研究開発機構による連携融合研究）」・「日本分光学会極端紫外分光部会」の合同企画により開催されます。
波長13.5nmのEUV（極端紫外）光を用いたEUVリソグラフィは，2009年頃から量産化が予定される32nm技術ノード以降の半導体リソグラフィ技術として最有力視されており，現在，世界中で開発が急がれています。本シンポジウムではEUVリソグラフィ技術開発の現状とその展望，更にその他関連する短波長プラズマ光源開発について，各分野の最先端で研究開発に従事する方々をお招きしてその最前線についてご講演頂きます。 |
| 日 時 |
2007年12月6日(木)〜7日(金) |
| 会 場 |
宇都宮大学 工学部
〒321-8585 栃木県宇都宮市陽東7-1-2 |
| 会場へのアクセス |
http://www.utsunomiya-u.ac.jp/map/index.html |
| 参加費 |
無料 |
| 講演申込み締切り |
平成19年10月31日（水） |
| 問い合わせ窓口 |
宇都宮大学 東口 武史
E-mail：:higashi@cc.utsunomiya-u.ac.jp
TEL：028-689-6083 FAX：028-689-6083 |
※本シンポジウムの1日目(12/6(木))は(社)レーザー学会第368回研究会「短波長光の発生とその応用」との共催になっておりますので，上記まで参加講演を申し込まれた方はシンポジウム2日目(12/7(金))にご講演頂くことになります。
- 当日の講演題目の一部をご紹介いたします。
- 「リソグラフィ用レーザプラズマEUV光源の開発と課題」
植野能史（EUVA平塚研究開発センタ）
- 「短波長光源用キャピラリー放電プラズマ光導波路のダイナミクス」
東口武史（宇都宮大学）
- 「偏光X線分光法による超高強度レーザープラズマ中の高速電子輸送診断」
西村博明（大阪大学レーザーエネルギー学研究センター）
- 「混合ガスを用いた高次高調波発生」
高橋栄治（理研 緑川レーザー物理工学研究室）
皆様方からの積極的なご参加をお待ちいたしております。 |